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    超净高纯水的设备

    发布时间:2020-08-01 21:48 浏览次数:

         去离子水,其单个金属离子浓度含量为10-6级,等级较差。沸腾蒸馏法因为沸腾时出现了大量的蒸汽雾粒,而每个蒸汽雾粒则由几百乃至几百万个水分子组成,这样在沸腾过程中,金属离子或固体微粒就可能夹带在蒸汽雾粒中进入提纯后的液体中去,提纯效果十分有限。亚沸蒸馏法一般采用电炉丝加热的形式加热液体,控制液体温度,在液体未达到沸腾的状态将液体蒸出。由于未达到沸点,与液体平衡的气相不再由大量蒸汽雾粒组成,基本是以分子状态与液相平衡。此时蒸汽中极少夹带进金属离子或固体微粒。
        采用亚沸蒸馏方法去除低沸点溶剂中的金属离子,可使其金属离子浓度含量达到10-9级。采用了两级亚沸蒸馏工艺,可使超净高纯水中的主要金属离子浓度含量达到了10-10。级以下。
    艺采用亚沸蒸馏方法制备超净高纯水。结果显示液体温度越高,冷却水温度越高,亚沸蒸馏速率越快。液体温度可以达到沸点。冷却水流量控制在40L /h左右为宜。并且所制得的超净高纯水中金属离子浓度含量均低于10-10级,符合制造大规模、超大规模集成电路以及生产超净高纯试剂所要求的技术指标。该套两级亚沸蒸馏装置还可用于其它具有挥发性的超净高纯试剂,如盐酸、硝酸等的提纯。实验证明:亚沸蒸馏工艺是一种去除液体中金属离子与固体微粒的极为有效的方法。
        超净高纯水是微电子工业生产不可缺少的重要基础材料,它既直接用于超净高纯试剂的生产,又用于包装容器的超净清洗,其质量的好坏直接决定着超净高纯试剂产品的质量。同时,超净高纯水又是最纯、最廉价的清洗剂。应用于大规模、超大规模集成电路的制造及超净高纯试剂生产的水必须是超净高纯的,其每种金属离子浓度含量应达到10-9级,以避免其本身所带杂质对制造生产过程的污染。其具有用量大、技术要求高、储存有效期短等特点。